Short Description
Waferprober (Nadelspitzenmessplatz)
Contact Person
Prof. Wolfgang Bösch
Research Services
Vollautomatische On-Wafer Messungen, temperatur-, feuchtigkeits- und partikelkontrollierter Reinraum, Hochfrequenzmessungen, S-Parameter, DC bis 110GHz, Temperaturkammer -40degC bis 160degC, Wafer-Mapping, integrierter Laser-Cutter.
Methods & Expertise for Research Infrastructure
Vollautomatische Hochfrequenzmessungen an Wafern und integrierten Schaltungen.
Die Nutzungsbedingungen für das Gerät sind zu vereinbaren. Weitere Informationen finden Sie unter http://ihf.tugraz.at