Short Description
Vakuum-Pumpsystem, Sputteranlage Edwards FL400 - Auto 306
Experimentelle Anlage zur Herstellung von Dünnschichten (Variation von Substrat und Aufdampfbedingungen)
Contact Person
Univ.-Prof. DI Dr.techn. Roman Lackner
Research Services
Nach Rücksprache mit der zuständigen Kontaktperson
Methods & Expertise for Research Infrastructure
Experimentelle Anlage zur Herstellung von Dünnschichten (Variation von Substrat und Aufdampfbedingungen)
Allocation to research infrastructure
Nach Vereinbarung mit der zuständigen Kontaktperson