Short Description
Sputteranlage zur Synthese von funktionalen Schichten
Contact Person
Rostislav Daniel
Research Services
Abscheidung dünner Schichten auf der Basis von Metallen und Legierungen, Nitriden, Oxiden und Boriden.
Methods & Expertise for Research Infrastructure
Synthese funktionaler Schichten
Die Nutzung ist nach Absprache im Rahmen von geförderten und Auftragsforschungsprojekten möglich.