Short Description
JSM-7610F - FE-REM Schottky Feld Emissions Rasterelektronenmikroskop für Nanotechnologie
Mit dem Rasterelektronenmikroskop können kleinste Strukturen von Materialien und Oberflächen untersucht werden. Dieses Gerät bzw. die spezielle Bauart ist auf die Untersuchung von Nanotechnologie und Nanomaterialien konzipiert. Durch den Schottky Emitter und die In-Lens Detektoren können Vergrößerungen bis zu 1 000 000 fach erreicht werden. Dadurch kann man kleinste Geometrien auflösen und die Strukturen modernster high-tech Materialien erfassen. Das FE-SEM ist neben einem EDX Detektor zur Elementanalyse mit einem Wellenlängen aufgelösten Kathodolumineszenz (CL) Detektorsystem von DELMIC ausgestattet. Mit diesem lassen sich Emissionen im Vis und UV Bereich durch Anregung mit dem Elektronenstrahl erfassen. Zum Beispiel können Mappings der Bandlücke von Halbleitern erfasst werden. In Kombination mit der vorhandenen Electron Beam Induced Current (EBIC) Methodik können z.B. die optoelektronischen Eigenschaften (mit 10nm lateraler Auflösung) von Halbleiterschichtsysteme im Bereich der Photovoltaik erfasst werden.
Contact Person
Univ.-Prof. Dr. Roman Lackner
Research Services
Nach Rücksprache mit der zuständigen Kontaktperson
Die Forschungsinfrastruktur ist "Open for Collaboration". Kommerzielle Kooperationen sind nicht möglich.
Methods & Expertise for Research Infrastructure
Die Rasterelektronenmikroskopie wird am AB Materialtechnologie seit über einem Jahrzehnt eingesetzt um Werkstoffe zu charakterisieren. Mit dem Schottky Emitter können nun auch kleinste Strukturen aufgelöst und charakterisiert werden.
Allocation to research infrastructure
Nutzungsbedingungen werden im Rahmen einer wissenschaftlichen Kooperation definiert. Keine kommerzielle Nutzung möglich. Bei Interesse an einer Kooperation oder Zusammenarbeit bitten wir Sie um Kontaktaufnahme.