Short Description
Eigenspannungsmessung von Schichten mit Hilfe der Biegebalkenmethode. Bis zu 900 °C in Schutzgas.
Contact Person
Univ.Prof. Dipl.-Ing. Dr.mont. Paul Heinz Mayrhofer
Research Services
Bestimmung des Ausdehnungskoeffizienten und der thermisch generierten Eigenspannungen bei unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten zwischen Substrat und Schicht.
Methods & Expertise for Research Infrastructure
Charakterisierung der biaxialien Eigenspannungen in einer Schicht sowie der thermisch induzierten Spannungen aufgrund unterschiedlicher Ausdehnungskoeffizienten zwischen Schicht und Substrat. Die Charakterisierung erfolgt mit Hilfe der Biegebalkenmethode und kann bis ca. 900 °C durchgeführt werden (in inerter Atmosphäre).
Im Rahmen von Kleinprojekten oder Großprojekten nach Kontaktaufnahme mit Prof. Paul Mayrhofer oder Prof. Ulrich Schmid.
Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme (Univ.Prof. Dr. Ulrich SCHMID, Mikrosystemtechnik)