Short Description
Elektronenstrahl-Lithographiesystem RAITH eLine plus
Contact Person
Joachim Krenn
Research Services
Nach Rücksprache mit dem Institut für Physik, Universität Graz.
Methods & Expertise for Research Infrastructure
Fertigung von Nanostrukturen mit kleinsten Strukturgrößen von ca. 10 nm. Forschungsschwerpunkt auf optische und elektronische Eigenschaften von Nanostrukturen.
Nach Rücksprache mit dem Institut für Physik, Universität Graz.