Short Description
Ionenmikroskopsäule als Zusatz zum Zeiss AURIGA Rasterelektronenmikroskop, kann zur lokalen Materialbearbeitung mittels fokussierter Ga Ionen auf der Nanometerskala eingesetzt werden, für die lokale 3D Mikrostrukturanalyse, TEM Probenpräparation, oder Mikro- und Nanoprobenfertigung.
Contact Person
Univ. Prof. Dr. Daniel Kiener
Research Services
Herstellung von miniaturisierten mechanischen Proben
Methods & Expertise for Research Infrastructure
Ionenmikroskopsäule als Zusatz zum Zeiss AURIGA Rasterelektronenmikroskop, kann zur lokalen Materialbearbeitung auf der Nanometerskala eingesetzt werden, für die lokale 3D Mikrostrukturanalyse, TEM Probenpräparation, oder Mikro- und Nanoprobenfertigung.
Das Gerät wird für die Grundlagenforschung am Institut verwendet. Wenn freie Kapazitäten verfügbar sind, werden auch nach Vereinbarung/Absprache Auftragsarbeiten durchgeführt.