Kurzbeschreibung
Reinraum Nassarbeitsbänke, Klasse 5 gemäß ISO 14644-1
Ansprechperson
Prof. Gerhard Kirchmair
Research Services
Nanofabrikation
Die Forschungsinfrastruktur ist "Open for Collaboration". Kommerzielle Kooperationen sind nicht möglich.
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Anlagen für die Ausführung nasschemischer Arbeitsschritte der Nanofabrikation in partikelfreier Atmosphäre
Nutzungsbedingungen nach Rücksprache
Nutzungsbedingungen werden im Rahmen einer wissenschaftlichen Kooperation definiert. Keine kommerzielle Nutzung möglich. Bei Interesse an einer Kooperation oder Zusammenarbeit bitten wir Sie um Kontaktaufnahme.
Nutzungsbedingungen werden im Rahmen einer wissenschaftlichen Kooperation definiert. Keine kommerzielle Nutzung möglich. Bei Interesse an einer Kooperation oder Zusammenarbeit bitten wir Sie um Kontaktaufnahme.
Institut für Experimentalphysik, Universität Innsbruck
Institut für Quantenoptik und Quanteninformation Innsbruck, Österreichische Akademie der Wissenschaften
Institut für Quantenoptik und Quanteninformation Innsbruck, Österreichische Akademie der Wissenschaften