Kurzbeschreibung
System für optische Lithographie von Strukturen bis 500 nm Größe
Ansprechperson
Prof. Dr. Thomas Fromherz
Research Services
Optische Lithographie mittels UV Masken
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Optische Lithographie für Metallisierung und Ätzen
Zuordnung zur Forschungsinfrastruktur
Auf Anfrage und nach Rücksprache mit Herrn Prof. Dr. Thomas Fromherz