Kurzbeschreibung
Das F&E Multi-Wet Tool InfinityLine C+ ist eine berührungslose, vertikale Spinnprozess-Cluster-Anlage für doppelseitige Bearbeitung. Das Gerät ist mit verschiedenen Einzelprozesskammern konfiguriert. Jede von ihnen ist mit einer Rotationseinheit, einem servogetriebenen Sprüharm, Sprühdüsen und anderen optionalen Funktionen ausgestattet.
Das hochmoderne Multi-Wet-Tool kombiniert auf einer Fläche von 61 Quadratmetern fünf Prozesse, die normalerweise jeweils eine eigene Produktionslinie von ähnlicher Größe beanspruchen würden. In der Anlage können sowohl die bei AT&S bereits bekannten Prozesse Photoresist-Entwicklung und Kupfer-Flash-Ätzen als auch die neuen Verfahren Titan-Flash-Ätzen, Flüssig-Resist-Entwicklung und Flüssig-Resist Strippen angewendet werden, welche in der Entwicklung der IC Substrattechnologie unumgänglich sind.
Die vertikale Rotation des Substrats in Verbindung mit dem servogesteuerten Sprüharm ermöglicht genau definierte Prozesse hinsichtlich Prozesszeit, Druck und Chemieverteilung. Dies ermöglicht Produktstrukturen bis zu 2 μm und darunter.
Technische Daten:
• Substratdicke: 0,5 mm – 3,0 mm
• Substratabmessungen: 510x515mm
• SCHMID-Spannrahmen erforderlich
• Durchsatz und Bearbeitungszeit ist prozessabhängig
Um die Betriebskosten so gering wie möglich zu halten, ist die Kammer versiegelt und wird nur durch einen Plattenwechsel entlüftet. Die Chemikalien werden durch Druck transportiert, ohne dass Pumpen notwendig sind. Der Chemikalienverbrauch wird durch eine optimale Verteilung über die Platte mit dem servogesteuerten Sprüharm zusammen mit der Plattenrotation auf ein Minimum reduziert. Mit diesem Gerät können Prozesse mit perfekter Verteilung, definierter Prozesszeit und unter ISO8-Reinraumbedingungen durchgeführt werden.
Ansprechperson
Timo Schwarz
Research Services
Unsere Forschungsinfrastruktur umfasst das Multi-Wet Tool InfinityLine C+ Tool der Firma SCHMID – ein hochmodernes, berührungsloses, vertikales Spin-Prozess-Cluster-System. Dieses System steht auch externen Partnern für Forschungs- und Entwicklungszwecke zur Verfügung.
Ausstattung und Möglichkeiten:
• Touch-free Verarbeitung: Schonende, kontaktlose Bearbeitung empfindlicher Substrate
• Modulares System: Vier individuell konfigurierbare Prozesskammern
• Präzise Prozessführung: Servo-gesteuerter Sprüharm, rotierende Substrathalterung, definierte Prozesszeiten
• Multifunktionale Nutzung: Prozessierung mit Chemikalien, Spülen und Trocknung in einer Kammer möglich
• Feinste Strukturen: Verarbeitung von IC-Substraten mit Strukturen bis zu 2 μm
• Energie- und Ressourceneffizienz: Reduzierter Verbrauch von Chemikalien, Wasser und Energie
• Industrie 4.0-fähig: Webbasierte Steuerung, Schnittstelle zu MES-System
• Reinraumbetrieb
Zielgruppen:
Forschungseinrichtungen, Universitäten, Industriepartner im Bereich Substratfertigung, Mikrostrukturierung, Halbleitertechnik und verwandte Felder.
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Als Betreiber des Multi-Wet-Tools InfinityLine C+ bieten wir externen Partnern Zugang zu folgenden Methoden:
Verfügbare Methoden & Prozessfähigkeiten
* Berührungslose Einzelplattenprozessierung (Single Panel Processing),
* Prozessierung wie Resist Entwickeln und Kupfer-Flash-Ätzen im Sprühverfahren mit präziser Chemikaliendosierung,
* Integrierte Spül- und Trocknungsprozesse in Reinraumumgebung (ISO8)
* Feinlinestrukturierung bis unter 2 µm für IC-Substrate
* Prozessmodularität: Konfiguration individueller Prozessketten je nach Versuchsziel
Expertise & Unterstützungsleistungen
Wir stellen nicht nur die Anlage zur Verfügung, sondern begleiten externe Projekte mit umfassender Expertise:
* Prozessentwicklung & -optimierung: Unterstützung bei der Parameterauswahl, Rezeptentwicklung und Skalierung
* Materialcharakterisierung: Zusammenarbeit mit Partnerlaboren zur Analyse von Substratverhalten und Prozessrückständen
* Datenanalyse & Rückverfolgbarkeit: Bereitstellung von Prozessdaten, MES-Integration, Traceability
* Sicherheits- & Chemikalienmanagement: Beratung zu Chemikalienhandling, Umweltauflagen und Sicherheitskonzepten
Typische Anwendungsfelder für Dritte
* Machbarkeitsstudien für neue Substratmaterialien und Produktaufbauten
* Pilotierung von Fertigungsprozessen vor Serienüberführung
* Entwicklung nachhaltiger Prozesse mit reduziertem Chemikalienverbrauch (Validierung neuer Prozesschemikalien)
Prinzipiell gelten die Geschäftsbedingung und Konditionen i.d.g.F von AT&S. Es können auch individuelle Bedingungen und Konditionen ausgemacht werden – diese müssen jedoch vom Management extra genehmigt werden.
Nach der ersten Kontaktaufnahme und dem Entschluss des Dritten die Anlage zu verwenden ist es zwingend notwendig eine Verschwiegenheitsvereinbarung abzuschließen, bei dem der Zweck und Umfang genau definiert werden.
Je nach Wunsch der Interessenten können 2 Szenarien entstehen: Der Dritte stellt Testvehikel / Prototypen selbst zur Verfügung, es wird nur das F&E Multi-Wet Tool verwendet und nach der Prozessierung werden die Testvehikel / Prototypen zur weiteren Verarbeitung zurückgeschickt oder AT&S wird mit der Fertigung eines Testvehikels/Prototypen beauftragt, bei der das F&E Multi-Wet Tool als zentraler Fertigungsbestandteil verwendet wird.
Je nach Entwicklungstand der F&E Anlage stehen dem Interessenten jeweils die freigegebenen Prozesse zur Verfügung.
Ein Mitarbeiter des Interessenten darf während des Prozessierens seiner beauftragten bzw. gewünschten Prototypen mit der F&E Anlage anwesend sein – und den Prozess begleiten/beobachten. Während des Aufenthaltes in der Fertigung dürfen keine Audio-, Foto-oder Videoaufnahmen gemacht werden.
Prozessparameter werden nicht preisgegeben außer es handelt sich um eine gemeinsame Entwicklung, der ein Entwicklungsvertrag zugrundliegt.
Sollte der Dritte über keine oder eine nicht ausreichende Laborausstattung verfügen, kann diese extra mitbeauftragt werden, um Analysen durchzuführen. Sollten diese nicht intern abgedeckt werden können, werden externe Angebote eingeholt.