Kurzbeschreibung
Neuer Reinraum im LIT Open Innovation Center
Ansprechperson
Univ.-Prof. Dr. Armando Rastelli
Research Services
Abscheidung von Dünnschichten (Metalle, Dielektrika), optische Lithographie, Elektronenstrahlithographie...
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Lithographie, Ätzen, Materialabscheidung, Hybride Integration
Zuordnung zur Forschungsinfrastruktur
Für Details kontaktieren Sie bitte die verantwortliche Person.
TU Wien, Univ. Innsbruck, FH Vorarlberg, ISTA