Kurzbeschreibung
Sigma® 300 VP - Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit einem Vakuumsystem für variablen Druck.
Analytisch hochauflösendes Schottky- FESEM mit patentierter GEMINI®-Elektronenoptik bestehend aus einer kombinierten elektromagnetischen und elektrostatischen Objektivlinse und einem überkreuzungsfreien Strahlengang.
Auflösung:
1.2 nm bei 15 kV, 2.2 nm bei 1kV
Beschleunigungsspannung: 0.02kV bis 30kV.
Strombereich: 4pA - 20nA; 40nA oder 100nA mit Hochstrommodus
Mit einer Strahlstromstabilität von besser als 0.2%/h
Das Sigma® 300 VP wird am Institut für Elektronenmikroskopie und Nanoanalytik (FELMI) in Kombination mit einem Hochleistungs- EDX Detektor (Oxford XmaxN) und einem Raman System (WITec RISE®) betrieben. Dies ermöglicht einzigartige Techniken der korrelativen Mikroskopie und stellt ein Alleinstellungsmerkmal dar.
Ansprechperson
Armin Zankel
Research Services
Am Institut für Elektronenmikroskopie und Nanoanalytik (FELMI) der TU Graz verfügbare analytische und bildgebende mikroskopische Techniken:
1. Oberflächen- und Mikroanalysen mittels Rasterelektronenmikroskopie, Röntgenspektrometrie
2. Chemical Imaging mittels FT-Infrarot- und Raman-Mikroskopie
3. Entwicklung von funktionellen Nanostrukturen (3D-Nanofabrikation) mit der Focused-Ion Beam Methode (FIB)
4. Schadensfallanalytik von metallischen Werkstoffen, elektronischen Bauelementen, Sensoren, Leichtmetallen und Verbundwerkstoffen
5. Nanoanalytik mittels hochauflösender Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) mit EELS und EDX, HAADF-Abbildung und Tomographie bis zur atomaren Auflösung für Materialforschung, Halbleiterbauelemente, Sensoren und Nanoteilchen
6. Mikroskopische Kristallstrukturanalyse mittels Elektronenbeugung im REM und TEM
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Das Sigma® 300 VP wird am Institut für Elektronenmikroskopie und Nanoanalytik (FELMI) in Kombination mit einem Hochleistungs- EDX Detektor (Oxford XmaxN) und einem Raman System (WITec RISE®) betrieben. Dies ermöglicht einzigartige Techniken der korrelativen Mikroskopie und stellt ein Alleinstellungsmerkmal dar.
Zuordnung zur Forschungsinfrastruktur
http://felmi-zfe.at