Kurzbeschreibung
Das Gerät ist ein semiautomatischer Wafer-Prober CM 300 der Fa. Cascade Microtech. Mit seiner Hilfe ist die Messung integrierter Schaltungen möglich. Hierbei können sowohl einzelne gesägte ICs als auch komplette 200mm oder 300mm Wafer vermessen werden. Zusätzlich zum Wafer-Prober stehen eine Vielzahl weitere Messgeräte zur Verfügung. Dazu zählen u.a. Logikanalysator, Source-Measure-Units, Spektrum- und Netzwerkanalysatoren wie auch NF und HF Signalgeneratoren.
Ansprechperson
Dominik Mair
Research Services
Vollautomatische On-Wafer Messungen einzelner Dice, kompletter 200 oder 300mm Wafer; Messung über Temperatur (aktuell von Raumtemperatur bis 200°)
Die Forschungsinfrastruktur ist "Open for Collaboration". Kommerzielle Kooperationen sind nicht möglich.
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Automatische Messungen an Wafern und integrierten Schaltungen, Erstellung einer Wafermap