Kurzbeschreibung
MicroWriter ML3 Baby 365 ist ein kompakter, leistungsstarker und kostengünstiger optischer Direktschreib-Lithographie-Footprint
Ansprechperson
Milena Petkova
Research Services
Derzeit werden keine Research Services für diese Forschungsinfrastruktur angeboten. Bei Interesse an einer Kooperation setzen Sie sich bitte mit Markus Aspelmeyer (aspelmeyer-office@univie.ac.at) in Verbindung.
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Der Durham Microwriter „Baby“ ermöglicht direkte optische Lithografie für Chipproben und Wafer. Das System basiert auf digitaler Lichtprojektion und erlaubt schnelles Prototyping mit hoher Präzision. Es erreicht eine Auflösung im Submikrometerbereich und bietet eine schnelle, automatisierte Ausrichtung auf die Substrate. Für unsere Forschung im Bereich Quantentechnologie wird das System verwendet, um leitende, supraleitende und dielektrische Strukturen auf Substraten wie Silizium, Diamant und Siliziumkarbid zu erzeugen.