Kurzbeschreibung
Plasmabasierte Niedertemperatur-Beschichtungsanlage mit der Möglichkeit zur Plasmaanalyse.
Ansprechperson
Anna Hofer-Roblyek
Research Services
Abscheidung funktionaler Schichten
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Abscheidung von dünnen Schichten mittels physikalsicher Gasphasenabscheidung und Plasmaanalyse
Die Nutzung ist nach Absprache im Rahmen von geförderten Projekten und Auftragsforschungsprojekten möglich.