Kurzbeschreibung
Wafer Probe Station mit DC-Probes sowie Single- & Differential HF-Probes bis 20GHz
Wafer Inspections -Mikroscope für Bright- & Darkfield, Obj. 2.5x/5x/10x/20x/50x/100x/WhiteLight Interferometry
Mixed Signal Oszilloskop 4Ch DSO, 2.5GHz analog, 40GS/s, 36Ch digital
Spectrum & Vector Network Analyzer bis 3GHz
Industrial Parameter Analyzer - Automatic wafer level component characterization
Ansprechperson
Dipl.-Ing. Dr. Christian Koller
Research Services
Mikroelektronik Charakterisierung
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
MEMS- und Mikroelektronik Charakterisierung auf Wafer-Level
Bitte wenden Sie sich an die unter Kontakt angegebene Kontaktperson