Universität für Weiterbildung Krems (Donau-Universität Krems)
Wiener Neustadt | Website
Kurzbeschreibung
Das Digitale Holografische Mikroskop (DHM, http://www.lynceetec.com/reflection-dhm/) erlaubt die dynamische 3D Charakterisierung von Mikrosystemen. Die beiden Haupt-Modi sind:
1.) 3D Vibrationsanalyse:
Messung des gesamten Blickfeldes ohne Abrastern der XYZ Koordinaten.
Dabei weist es eine in-plane Vibrationsauflösung von 1 nm und eine out-of-plane Vibrationsauflösung bis zu 5 pm auf.
2.) Dynamische Live- 3D Topographie
Bandbreite von DC bis zu 25 MHz. Messung vertikaler Geschwindigkeiten bis zu 10 m/s
Das Gerät ist mit einem Revolver mit bis zu 6 Objektiven ausgestattet und erlaubt Messungen in Kombination mit einer Messkammer. Es liegt in der Dual Laser Konfiguration vor. Zur Vibrationsisolierung ist es auf einem passiv schwingungsgedämpften Tisch positioniert.
Das Gerät ist mit der Koala Acquisition und Analysis Software ausgestattet.
Ansprechperson
Dipl.-Ing. Dr. Wilfried Hortschitz
Research Services
3D Charakterisierung von Mikrosystemen (MEMS, MOEMS)
Charakterisierung und Vermessung von mikro-mechanischen Strukturen
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Mit Hilfe des DHM kann eine 3D Charakterisierung von Mikrosystemen (MEMS, MOEMS) im statischen als auch eingeschwungenen Zustand durchgeführt werden. Mit Hilfe der Koala Auswertesoftware können nachfolgend verschiedenste Auswertungen der Messdaten, wie z.B. Bode-Plots, für alle drei Raumrichtungen vorgenommen werden.