Kurzbeschreibung
Anlage zur Herstellung von dünnen dielektrischen Schichten (Alumina, Hafnia, Titania) auf Substrate bis 100 mm
Ansprechperson
Univ.-Prof. Dr. Armando Rastelli
Research Services
- Beschichtung von Proben mit Alumina, Hafnia oder Titania
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Herstellung von Isolierschichten für thermische Leitfähigkeitsmessungen mit der "3-Omega Methode", für Transistorstrukturen und photonische Strukturen.
Zuordnung zur Forschungsinfrastruktur
Die Nutzungsbedingungen für das Gerät sind zu vereinbaren. Informationen und Kontaktdaten finden Sie auf der JKU Webseite unter https://www.jku.at/hfp/
Univ. Rom la Sapienza
Univ. Innsbruck
Univ. Würzburg
Univ. Paderborn
KTH Stockholm
Univ. Innsbruck
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KTH Stockholm
Role of Surface-Segregation-Driven Intermixing on the Thermal Transport through Planar Si/Ge Superlattices, 2013, Peixuan Chen, N. A. Katcho, J. P. Feser, Wu Li, M. Glaser, O. G. Schmidt, David G. Cahill, N. Mingo, and A. Rastelli, Phys. Rev. Lett. 111, 115901, http://journals.aps.org/prl/abstract/10.1103/PhysRevLett.111.115901