• Zum Seiteninhalt (Accesskey 1)
  • Zur Hauptnavigation (Accesskey 2)
  • Bundesministerium Frauen, Wissenschaft und Forschung
  • Forschungsinfrastruktur-Datenbank
  • Start
  • Suche
  • Mapping
    • Statistiken nach Region
    • Cluster
    • Monitoring Förderungen
    • Galerie
  • Über
    • F&E - Einrichtungen
    • Bundesministerium für Frauen, Wissenschaft und Forschung (BMFWF)
    • Wirtschaftskammer Österreich (WKÖ)
    • Bundesministerium für Wirtschaft, Energie und Tourismus (BMWET)
  • FAQs & Info
    • FAQs
      • Beschreibung zur Forschungs­infrastruktur
      • Methoden & Services zur Forschungs­infrastruktur
      • Kategorien zur Forschungs­infrastruktur
      • Zusätzliche Informationen zur Forschungs­infrastruktur
      • Suchmaschine: Fragen zur Suche
      • Kontakt
    • Information
      • Nationale Forschungs­infrastruktur­strategie
      • Forschungs­infrastrukturen in der Europäischen Union
      • Forschungs­infrastruktur-Datenbanken / Forschungs­infrastruktur-Netzwerke
      • BMBWF-Forschungsinfrastruktur-Datenbank: Evaluierungsstudie 2022
      • Auszeichnungen und Pressemeldungen
  • Registrieren
  • Login
  • DE
  • EN
Großgerät Cluster „Quanten“

Elektronenstrahl-Lithographie-Anlage: Raith eLine plus

  • Zur Übersicht
  • »
  • 199 / 324
  • »

JKU - Johannes Kepler Universität Linz

Linz | Website

Open for Collaboration

Kurzbeschreibung

Anlage für die Herstellung von Nanostrukturen mittels Elektronenstrahl-Lithographie

Ansprechperson

Univ.-Prof. Dr. Armando Rastelli

Research Services

Elektronenstrahl-Lithographie auf Substraten bis 100 mm Durchmesser mit Elektronenenergien bis zu 30 keV; Laserbühne mit 10nm Positioniergenauigkeit

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Elektronenstrahl-Lithographie, Nanostrukturierung

Zuordnung zur Forschungsinfrastruktur

Center for Nanoscale Semiconductors

Nutzungsbedingungen

Nutzungsbedingungen nach Absprache

Kooperationspartner

IST Austria
Univ. Pavia
Univ. Rom la Sapienza
Univ. Innsbruck
Univ. Würzburg
Univ. Paderborn
KTH Stockholm

Referenzpublikationen

Heavy-Hole States in Germanium Hut Wires
Hannes Watzinger, Christoph Kloeffel, Lada Vukušić, Marta D. Rossell, Violetta Sessi, Josip Kukučka, Raimund Kirchschlager, Elisabeth Lausecker, Alisha Truhlar, Martin Glaser, Armando Rastelli, Andreas Fuhrer, Daniel Loss, and Georgios Katsaros
Nano Lett., 2016, 16 (11), pp 6879–6885
http://dx.doi.org/10.1021/acs.nanolett.6b02715

Enhanced telecom emission from single group-IV quantum dots by precise CMOS-compatible positioning in photonic crystal cavities
Magdalena Schatzl, Florian Hackl, Martin Glaser, Patrick Rauter, Moritz Brehm, Lukas Spindlberger, Angelica Simbula, Matteo Galli, Thomas Fromherz, and Friedrich Schäffler
ACS Photonics 2017
http://dx.doi.org/10.1021/acsphotonics.6b01045

Kontakt

Univ.-Prof. Dr. Armando Rastelli
Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik, Abteilung für Halbleiterphysik
+43 732 2468 9601
armando.rastelli@jku.at
https://www.jku.at/hfp

Standort

Standort auf Karte

Diesen Eintrag teilen

  • Facebook
  • X.com
  • Pinterest
  • LinkedIn
  • E-Mail
© 2025 BUNDESMINISTERIUM für FRAUEN, WISSENSCHAFT und FORSCHUNG
  • Nutzungsbedingungen / Datenschutz
  • Barrierefreiheitserklärung
  • Impressum
  • Datenschutz-Einstellungen