Kurzbeschreibung
Trockenätzanlage für III-V Verbindungshalbleiter
Ansprechperson
Univ.-Prof. Dr. Armando Rastelli
Research Services
Ätzen von III-V Verbindungshalbleiter
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Trockenätzen mit Chlor und BCl3
Zuordnung zur Forschungsinfrastruktur
Nach Vereinbarung
Universität Innsbruck
Universität Wien
Universität Rom Sapienza
Universität Wien
Universität Rom Sapienza