Kurzbeschreibung
Spektroskopische Ellipsometer werden zur Bestimmung der optischen Eigenschaften von dünnen Filmen und Oberflächen mit Monolagensensitivität genutzt (Oberflächenphysik/Analytik).
Voraussetzung ist eine reflektierende plane Oberfläche. Mit dem abbildenden Ellipsometer können laterale Strukturen mit einer Ortsauflösung bis minimal 1 µm im Wellenlängenbereich zwischen 190 nm und 1700 nm analysiert werden. Anhand der Polarisationsänderung des unter verschiedenen einstellbaren Einfallswinkeln reflektierten Lichts können die komplexe dielektrische Funktion bzw. der komplexe Brechungsindex als auch die Schichtdicke (ca. 0,1 – 10000 nm) bestimmt werden. Mit Hilfe des einstellbaren optischen Einfallswinkels und verschiedener azimutaler Probenorientierungen ist weiterhin eine Bestimmung von anisotropen optischen Eigenschaften möglich (Dielektrischer Tensor).
Die Müller-Matrix-Erweiterung des Instruments ermöglicht weiterhin eine Analyse der Depolarisationseigenschaften der Probe. Die Auswertung der gewonnenen polarisationsoptischen Messdaten erfolgt mit Hilfe optischer Schichtmodelle und einer speziellen Analysesoftware. In komplexen Probenstrukturen ist die Zahl der unabhängig bestimmbaren Parameter begrenzt. Gegebenenfalls müssen komplementäre Messmethoden hinzugenommen oder separate Messungen an z. B. Substraten durchgeführt werden.
Ansprechperson
Dr. Christoph Cobet
Research Services
Research Services auf Anfrage
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Die möglichen Anwendungen des abbildenden Müller-Matrix-Ellipsometers umfasst nahezu alle typischen Anwendungen der spektroskopischen Ellipsometrie, die unter Reinraumbedingungen durchgeführt werden können.
Zuordnung zur Forschungsinfrastruktur
JKU website: https://www.jku.at/zona/