Kurzbeschreibung
Der Femtosekundenlaser wird für die lokale Materialbearbeitung eingesetzt. Damit können lokale 3D Strukturanalysen oder mikromechanische Proben bis in den Mikrometerbereich hergestellt werden. Der Femtosekundenlaser ist an ein Kombigerät Focused-Ion Beam - Rasterelektronenmikroskop gekoppelt. Damit kann die Präparation und Strukturanalyse an einem einzigen Gerät durchgeführt werden.
Ansprechperson
Daniel Kiener
Research Services
Research Services nach Vereinbarung.
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Femtosekundenlaserbeareitung ermöglicht einen extrem schonenden Materialabtrag. Die Materialbeeinflussung sollte sich auf Nanometertiefe beschränken. Die Materialschädigung sollte kleiner oder vergleichbar mit der üblichen Ionenbearbeitung sein. Zum Vergleich mit einer FIB ist jedoch der Materialabtrag um mehrere Zehnerpotenzen höher. Verwendet wird der Femtosekundenlaser am Institut für Mikroprobenfertigung und für die Grobbearbeitung für die genaue FIB-Präparation.