Kurzbeschreibung
Sputteranlage zur Synthese von funktionalen Schichten
Ansprechperson
Rostislav Daniel
Research Services
Abscheidung dünner Schichten auf der Basis von Metallen und Legierungen, Nitriden, Oxiden und Boriden.
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Synthese funktionaler Schichten
Die Nutzung ist nach Absprache im Rahmen von geförderten und Auftragsforschungsprojekten möglich.