Kurzbeschreibung
Das ThermoFisher SCIOS 2 Dual-Beam System kombiniert ein hochauflösendes Rasterelektronen- mit einem Rasterionenmikroskop. Die Feldemissions-Elektronensäule ist mit In-Lens Detektoren für hochauflösende Abbildungen ausgestattet. Mittels fokussiertem Ga-Ionenstrahl können Materialien gezielt bis in den Nanometerbereich bearbeitet werden. Das Gerät ist mit einem Röntgendetektor für chemische Analysen ausgestattet.
Ansprechperson
Dipl.Ing. Andreas Steiger-Thirsfeld
Research Services
Die Forschungs-Facility USTEM ist die zentrale Einrichtung der TU Wien für analytische und hochauflösende elektronenmikroskopische Untersuchungen. Die Schwerpunkte von USTEM sind Transmissionselektronenmikroskopie (TEM), Rasterelektronenmikroskopie (SEM) und Focused Ion Beam (FIB) Anwendungen.
Spezielle Services an der ThermoFisher SCIOS 2:
- Hochauflösende Abbildungen
- Chemische Analytik
- Strukturanalyse bis in den nm-Bereich
- 3D Tomographie
- 3D Analyse von Defekten oder Testbereichen in Metallen, Halbleitern und Keramiken
- Zielpräparation für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) mit nm-Präzision
- Mikrostrukturierung z.B.: die Herstellung Teststrukturen für mikromechanische Tests
- Nanostrukturierung: Materialbearbeitung mittels fein fokussiertem Ga-Ionenstrahl, bzw. Aufbau von Strukturen im Nanometerbereich durch Ionen- oder Elektronenstrahl induzierte Materialabscheidung
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Materialbearbeitung und Charakterisierung
Zuordnung zur Forschungsinfrastruktur
Angehörige der TU Wien können jedoch die Geräte für ihre Lehre und für die Durchführung von Forschungsprojekten auch selbständig nach Einweisung und erfolgreicher Absolvierung eines Kurses benutzen.