Kurzbeschreibung
Das Helios 5 Hydra UX Dual-Beam System kombiniert ein hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop mit einem Rasterionenmikroskop. Die Feldemissions-Elektronensäule ist mit In-Lens Detektoren für höchst auflösende Abbildungen ausgestattet. Mittels fokussiertem Ionenstrahl können Materialien gezielt vom Millimeter- bis in den Nanometerbereich bearbeitet werden. Die Materialbearbeitung kann mit vier verschiedenen Ionenarten Xe, Ar, O und N erfolgen. Das Gerät ist mit einem Röntgendetektor für chemische und einem EBSD Detektor für kristallographische Analysen ausgestattet.
Ansprechperson
Andreas Steiger-Thirsfeld
Research Services
Die Forschungs-Facility USTEM ist die zentrale Einrichtung der TU Wien für analytische und hochauflösende elektronenmikroskopische Untersuchungen. Die Schwerpunkte von USTEM sind Transmissionselektronenmikroskopie (TEM), Rasterelektronenmikroskopie (SEM) und Focused Ion Beam (FIB) Anwendungen.
Spezielle Services am Helios 5 Hydra Dual-Beam System:
- Hochauflösende Abbildungen
- Chemische Analytik
- Strukturanalyse bis in den nm-Bereich
- 3D Tomographie
- 3D chemische und kristallographische Analyse
- Zielpräparation für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) mit nm-Präzision
- Mikrostrukturierung
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Materialbearbeitung und Charakterisierung
Zuordnung zur Forschungsinfrastruktur
Angehörige der TU Wien können jedoch die Geräte für ihre Lehre und für die Durchführung von Forschungsprojekten auch selbständig nach Einweisung und erfolgreicher Absolvierung eines Kurses benutzen.