Short Description
Das moderne Mikro & Nano Technology Lab ermöglicht die Simulation, Fabrikation und Charakterisierung von mikro- & nanotechnologischen Strukturen und Bauelementen. Unsere besondere Expertise beruht auf der Kombination von Halbleitertechnologie und Dünnfilmprozessen mit innovativen Konzepten der Mikro-, Nano- und Biowissenschaften.
Contact Person
Dr. Giorgio C. Mutinati
Research Services
· Abscheidung von Einzel- oder Mehrfachschichten
· Herstellung von transparenten leitfähigen Schichten
· Strukturierung von Mikro- und Nanostrukturen
· Materialdruck auf flexible und nicht-flexible Substrate
· Tintenformulierung für gedruckte Biosensorik
· Nanopartikelsynthese
· Sensoren - Entwicklung und Prototyping (Magnetische Sensoren (GMR, TMR), Integriert-optische Wellenleiter und Sensoren, Elektrochemische Sensoren)
Methods & Expertise for Research Infrastructure
MIKRO- & NANO-FABRIKATION
1)Materialdrucker:
Druckbare Materialien: Metalle, organische Leiterbahnen, biofunktionalisierende Tinten, etc.
Substrate: Polymere und Metalle (Folien und Bulk), Glas, Keramik, etc.
2) Magnetron Sputtering:
Präzise Abscheidungskontrolle für Schichtdicken von 5nm bis 1000nm
Mehr als 30 verschiedene Materialien verfügbar: Metalle, Halbleiter, Nichtleiter Multitarget-System: für Multilayer mit bis zu 11 unterschiedlichen Materialien
3) Aufdampfen:
Mehr als 10 unterschiedliche Materialien verfügbar: Metalle und Nichtleiter
Elektrochemische Abscheidung von Metallen und Halbleitern
4) Optische Lithographie
5) Elektronenstrahllithographie
6) Atomkraftlithographie
7) Argon-Ionenätzen
8) Nasschemisches Ätzen
9) Sauerstoffplasmaveraschung
10) Mikrofräsen
MIKRO- & NANO-CHARAKTERISIERUNG
1) Rastersonden-Mikroskopie und -Spektroskopie (SPM)
Atom- (AFM), Chemische (CFM), Magnet- (MFM) Kraftmikroskopie
Abbildung auch in Flüssigkeiten
2) Rasterelektronenmikroskop (REM/SEM)
Rastertransmissionselektronenmikroskop (STEM)
Rückstreuelektronendetektor (BSE)
3) Profilometer
4) 4-Spitzenmessplatz
5) Elektrische Messungen bis zu 20 GHz
6) Magnetoresistive Charakterisierung
7) Elektrochemische Potentiostate
8) Elektrochemische Impedanzspektroskopie
9) Messplatz für integrierte optische Wellenleiter, UV-VIS-NIR-MIR Spektrometer, Monochromator
10) Kontaktwinkelmessgerät
11) Viskosimeter