4 Forschungsinfrastrukturen / Open for Collaboration
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PlasmaPro 100 Trockenätzanlage (DRIE Deep Silicon Etcher)
FHV - Fachhochschule Vorarlberg
PlasmaPro 100 Trockenätzanlage von Oxford Instruments mit induktiv gekoppelter Plasmaanregung (ICP). Die Anlage ist dezidiert...
PlasmaPro 80 Trockenätzanlage (RIE Etcher)
FHV - Fachhochschule Vorarlberg
PlasmaPro 80 Trockenätzanlage von Oxford Instruments mit kapazitiv gekoppelter Plasmaanregung (Parallel Plate Reactor). Die Anlage...
Lasermikrobearbeitungsstation
FHV - Fachhochschule Vorarlberg
Lasermikrobearbeitungsstation Vario von 3D Micromac, ausgestattet mit 30 W Femtosekundenlaser im IR und SH. Die...
Femtosekundenlaser
FHV - Fachhochschule Vorarlberg
Der Femtosekundenlaser ist in einer Mikrobearbeitungsanlage (Vario, 3D Micromac) integriert. Mit seinen 30 W Ausgangsleistung...
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