Kurzbeschreibung
Der CRX-4.5K ist ein Waferprober mit geschlossenem Kühlkreislauf, welcher mit einer Helium-Kühlung ausgestattet ist. Er kann zur Charakterisierung von Halbleiterbauteilen direkt auf Wafer-Ebene verwendet werden. Das System bietet einen besonders hohen Temperaturbereich von 3,7K bis 675K.
Ansprechperson
Univ.Prof. Dr. Michael Waltl
Research Services
Tieftemperaturmessungen an mikroelektronischen Bauelementen
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Defektspektroskopie in Halbeiterbauelementen, CV Messungen, DLTS, OCVD, Reverse Recovery Measurements, etc.
Nach Vereinbarung