Kurzbeschreibung
Der halbautomatische Wafer-Prober Summit 12K dient zur Charakterisierung von Halbleiterschaltkreisen auf Wafern bis zu 12“. Messspitzen stehen von DC bis 330 GHz zur Verfügung. Für die elektrischen Messungen an den Schaltkreisen sind entsprechende Messgeräte, beispielsweise zur Leistungsmessung, Spektralmessung und Netzwerkanalyse, vorhanden.
Ansprechperson
Univ.-Prof. DI Dr. Andreas Springer
Research Services
Messtechnische Charakterisierung von Halbleiterschaltkreisen im Frequenzbereich von DC bis 330 GHz. Dazu stehen zwei HF-Positioniertische und HF-Quellen mit unsymmetrischer und voll-differentieller Ansteuerung, sowie zusätzliche DC-Spitzen für die Versorgung, zur Verfügung. Die durchführbaren Messungen reichen von Leistungsmessungen bis Spektral- und Netzwerkanalyse an linearen und nichtlinearen bzw. frequenzumsetzenden Bauteilen.
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Themat. Schwerpunkt: Mikrowellenmesstechnik, IC-Design, Radarsensorik;
mm-Wellen-Komponenten und Subsysteme, Bildgebende mm-Wellen-Systeme.